반도체 미세공정 고도화의 핵심 장비인 EUV 시스템 내 부품 공급이 본격화되면서 글로벌 공급망 내 입지 확대 기대감이 커지고 있다.
12일 본지 취재에 따르면 한솔아이원스 관계자는 "현재 EUV 장비용 3개 품목이 양산 단계에 진입했으며, 4번째 품목도 올해 연말 양산을 목표로 준비 중이다. 일부 DUV 부품에 대해서도 퀄 테스트를 통과했지만, 현재는 일부 품목에 한정돼 있어 매출 기여도는 아직 제한적이다."라고 밝혔다.
DUV(Deep Ultraviolet)는 193nm 파장의 심자외선을 활용하는 기존 노광 기술이다. 10나노급 이하 공정에서는 멀티패터닝이 필요해 공정 복잡성과 비용이 크게 증가한다.
반면 EUV(Extreme Ultraviolet)는 13.5nm 파장의 극자외선을 사용해 단일 노광으로 초미세 패터닝이 가능하다. 5나노·3나노 등 첨단 로직과 HBM 등 고집적 메모리 공정의 필수 장비로 자리 잡았다. EUV 장비는 네덜란드 ASML이 사실상 독점 공급하고 있다.
한솔아이원스는 반도체 장비용 정밀 가공·세정·코팅 기술을 기반으로 EUV 장비 내 핵심 구조·정밀 부품을 공급 중이다. EUV 장비는 고진공·고청정·고정밀 환경이 필수인 만큼, 내플라즈마·내식성·고정밀 가공 기술이 요구된다.
특히 EUV 장비는 유지보수(Reuse) 및 교체 수요가 꾸준히 발생하는 구조다. 회사는 EUV Reuse 사업에서 3개 품목을 양산 중이며, 품목 확대를 통해 중장기 매출 멀티플 효과를 바라보고 있다.
아울러 한솔아이원스 측은 “ASML 외에도 주요 고객사인 어플라이드 머티어리얼즈(AMAT)의 주력 부품 출하 흐름을 지켜보고 있다”며 “연간 기준으로는 전년 대비 10% 이상 성장 가능성을 보고 있다”며 "AMAT가 2026년 수주 전망에서 상반기 둔화 후 하반기 회복을 언급한 만큼, 상반기 변동성은 존재할 수 있다."는 점도 명확히 했다.
업계에서는 EUV 투자 확대, HBM 증설, 선단공정 경쟁 심화가 이어질 경우 한솔아이원스의 EUV·세정·코팅 사업이 구조적 수혜를 입을 가능성에 주목하고 있다.
반도체 업계 관계자는 “EUV 장비는 글로벌 공급망 진입 자체가 진입장벽이 높다”며 “품목 확대와 양산 안정화 여부가 기업가치 재평가의 핵심 변수가 될 것”이라고 말했다.
업계는 한솔아이원스가 EUV 품목 다변화와 DUV 확장, Reuse 매출 확대를 통해 ASML 내 점유율을 점진적으로 끌어올릴 수 있을지 주목하고 있다.
하지석 데이터투자 기자 pr@datatooza.com
