- SMART FFU 활용 계획 및 기류 균일도 개선 기술 확보
이번 특허는 필터 차압과 기외정압을 함께 검출해 팬 필터 유닛 주변의 기류 상태에 대한 데이터를 도출하는 기술이다.
해당 기술은 클린룸 내부의 기류 상태와 팬 필터 유닛의 필터 오염을 검출하고 다수의 유닛을 편리하게 제어하도록 돕는다.
듀얼 차압 측정 센서 모듈로 기외정압을 측정해 실시간 상황을 모니터링하며 기류의 균일도를 개선하는 데 활용된다.
이를 통해 클린룸 내부 압력이 일정하지 않아도 팬 필터 유닛 풍속을 일정하게 유지하며 에너지 절감이 가능하다.
신성이엔지는 이번에 취득한 특허 기술을 향후 스마트 에프에프유(SMART FFU)로 클린룸 상부에 적용할 계획이다.
이번 특허 취득일과 사실확인일은 2026년 7월 16일이며 이는 특허법인으로부터 특허수수료 납부 확인증을 접수한 날이다.
박승호 데이터투자 기자 shpark@datatooza.com
